许春建教授荣获河北省科技进步奖一等奖（第三完成人）：2022年3月26日，许春建教授收到河北省政府颁发的河北省科学技术奖一等奖证书，项目名称为“集成电路用含氟高纯电子气体制备技术与产业化”。含氟高纯电子气体是用于集成电路制造的关键性原材料，但我国在合成、纯化及分析等方面与国际先进技术差距明显，“十二五”期间自给率不足10%，进口依赖严重。为突破国际巨头在核心技术和供应链的垄断，历经八年持续创新，攻克了含氟高纯电子气体合成、纯化、杂质检测和高效混配等关键技术难题，形成了含氟高纯电子气体国产化成套技术和装备，在国内率先实现规模化生产，三氟化氮、六氟化钨等高纯电子气体性能指标达到或超过国际同类产品，解决了含氟高纯电子气体核心技术“卡脖子”问题。产品已规模化应用于华为、中芯国际、长江存储、台积电和英特尔等厂商的5-55nm制造工艺，其中三氟化氮和六氟化钨国内市场占有率超过60%，市场份额进入世界前三名。近三年新增产值32.1亿元，新增毛利润9.6亿元，累计税收3.6亿元，经济和社会效益显著，解决了国内产业链自主供应问题，为保障国家集成电路产业链安全提供了强有力的支撑。